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    日本愛發科干泵PDR-090CLN真空泵維修

    簡要描述:

    日本愛發科干泵PDR-090CLN真空泵維修:愛發科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵,用于分析儀器以及半導體生產和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,高真度運行,由于具有優異的抗靜態和動態內應力能力,所以泵能提供更強的安全性。

    所屬分類:日本愛發科

    更新日期:2025-02-19

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    日本愛發科干泵PDR-090CLN真空泵維修
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      日本愛發科干泵PDR-090CLN真空泵維修
     
      愛發科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵,用于分析儀器以及半導體生產和等離子清洗等潔凈制
     
      程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,高真度運行,由于具有優異的抗靜態和動態內應力能力,所以泵能
     
      提供更強的安全性。
     
      真空泵不良現象及原因分析
     
      1、不良現象:真空泵運行過載報警。
     
      2、原因分析:
     
      經對真空泵進行拆解, 發現以下幾個問題點:
     
      不良現象 原因分析
     
      (1)轉子軸套部磨損:
     
      因軸承磨損導致轉子下限,軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。
     
      (2)泵內齒輪箱內積碳:
     
      因泵軸承損壞,轉子軸套與端蓋中間磨擦導致高溫,齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。
     
      (3)軸承磨損:
     
      因軸承潤滑脂失效,軸承干性旋轉導致軸承滾珠在軸承內干磨。
     
      (4)軸封磨損:
     
      因軸承干磨磨出金屬粉屑以及高溫將軸封磨損。
     
      (5)軸套磨損:
     
      因高溫運行,軸封密封部硬化,與軸套接觸部位剛性磨擦將其軸套磨損。
     
      從事真空泵行業,主要銷售進口真空泵及配件,單級旋片真空泵,無油真空泵,
     
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